(أ) مبدأ تقسيم تنقية نظام تكييف الهواء

1، يجب تقسيم النظافة ودرجة الحرارة والرطوبة ودقتها لنفس الغرفة النظيفة أو غرفة مماثلة إلى نظام تكييف الهواء للتنقية. من السهل التحكم في النظافة ودرجة الحرارة والرطوبة. 2. يجب تصنيف الغرفة النظيفة القريبة من بعضها البعض كنظام، مما يمكن أن يقلل من طول خطوط الأنابيب في النظام وعبور خطوط الأنابيب.

3. عندما تسمح الظروف، يمكن أن يتكون نظام تنقية الهواء المختلط التدفق من 4 و5 تدفقات أحادية الاتجاه و6 و7 و8 تدفقات غير أحادية الاتجاه.

4. لا ينبغي دمج الغرفة النظيفة مع غرفة تكييف الهواء العامة كنظام.

5. استخدام القانون ووقت الاستخدام ليس هو نفسه كما أن الغرفة النظيفة ليست مناسبة لنظام تكييف الهواء النقي.

6. يجب تصميم غرفة إنتاج الغبار والحرارة والمواد الضارة والضوضاء كنظام منفصل.

7. لا يجوز دمج الغرف شديدة السمية والتي تسبب الحرائق والانفجار بعد خلطها في نظام تكييف هواء واحد.

8، هناك مواد شديدة السمية وقابلة للاشتعال والانفجار أ، ب يجب أن تكون الغرفة نظام منفصل، ويجب عدم إرجاع نظام تيار مستمر للهواء.

9، نظام تكييف الهواء التنقية ليس من السهل أن يكون كبيرا جدا. بشكل عام، لا ينبغي أن يتجاوز حجم توصيل الهواء النقي 100000 متر مكعب؛ وإلا فإن معدات معالجة الهواء تكون كبيرة جدًا، وصاخبة، وقناة عودة الهواء كبيرة، وتشغل مساحة كبيرة، والاستخدام غير مرن.

10. يجب على قسم نظام تكييف الهواء النظيف أيضًا النظر في تخطيط قناة الهواء وقناة العودة وقناة العادم والمياه والكهرباء والغاز وخطوط الأنابيب الأخرى ، قدر الإمكان لجعل الإدارة معقولة وقصيرة وسهلة الاستخدام ، والحد من التقاطع والتداخل.

11. يمكن أن تتم معالجة الحرارة والرطوبة وتنقية الهواء النقي في نظام تكييف الهواء بشكل مركزي أو لامركزي

مبدأ تقسيم نظام الهواء العادم المحلي لمعدات العملية

1. يجب ألا يكون نظام عادم الهواء الجزئي لمعدات العملية كبيرًا جدًا، ويجب ألا تكون نقاط عادم الهواء لكل نظام عادم هواء كثيرة جدًا، بحيث تكون إدارة عادم الهواء وتعديله مريحة ويكون تأثير عادم الهواء جيدًا.

2. لا ينبغي لنظام واحد لعادم الهواء أن يتقاطع مع نظامين أو أكثر لتنقية الهواء.

3. لا يجوز دمج هواء العادم الذي ينتج مواد شديدة السمية والانفجار والحريق والتكثيف والتبلور والمواد الضارة بعد الخلط في نظام هواء عادم واحد.

4. لا يجوز دمج هواء العادم للغرف والمعدات المختلفة في نظام عادم هواء واحد.

5. مقارنة واختيار نوع إمداد الهواء لنظام تكييف الهواء لتنقية الغرفة النظيفة

(أ) تنقية وتكييف الهواء من خلال تزويد الهواء من النوع المدمج، والذي يعرف عادة أيضًا باسم النوع المركزي لتزويد الهواء. مخطط وحدات تكييف الهواء النقية (وحدات معالجة الهواء AHU) الموجودة في غرفة تكييف الهواء، يتم إجراء تنقية جميع إمدادات تكييف الهواء في وحدة تكييف الهواء النقية والمعالجة الساخنة والرطبة، وسوف تقوم قناة إمداد الهواء الكبيرة بتوصيل جميع إمدادات الهواء إلى غرفة العزاء النظيفة، ويقع الممر في سقف غرفة نظيفة على مرشح HEPA الطرفي أو المرشحات الفعالة لتنظيف منفذ إمداد الهواء الداخلي المفلتر، لتحقيق عملية الغرفة النظيفة المطلوبة لدرجة الحرارة والرطوبة والنظافة وفرق الضغط في الغرفة، يمر هواء العودة من الغرفة النظيفة عبر مدخل هواء العودة وقناة هواء العودة، ثم يُوصل بوحدة تنقية الهواء في غرفة التكييف. بعد امتزاجه بالهواء النقي، تُكرر عملية تنقية الهواء ومعالجة الحرارة والرطوبة. يمكن تقسيم هذا المخطط إلى مخطط إمداد كامل بالهواء النقي (نظام التيار المستمر)؛ برنامج واحد للعودة الجوية؛ المخططات الأولى والثانية لإرجاع الهواء ومخططات MAU بالإضافة إلى FFU هي أربعة أنواع مختلفة من إمداد الهواء. يعد مخطط إمداد الهواء هذا مخطط إمداد الهواء الأكثر استخدامًا على نطاق واسع للغرف النظيفة، وخاصة الغرف النظيفة ذات التدفق غير أحادي الاتجاه. إن تقسيم نظام إمداد الهواء هذا واضح، كما أن التحكم في حجم الهواء ودرجة الحرارة والرطوبة وتنظيمها واحد. ومع ذلك، عندما يكون مستوى النظافة أعلى وحجم إمداد الهواء أكبر، تشغل غرفة تكييف الهواء مساحة كبيرة، ويشغل حجم أنبوب إمداد الهواء والهواء العائد مساحة ومساحة كبيرة، ويكون أنبوب إمداد الهواء والهواء العائد طويلًا، والضغط المتبقي لمروحة إمداد الهواء مرتفع، والضوضاء كبيرة، ويستهلك إمداد الهواء كمية كبيرة من الكهرباء. لذلك، فإن مخطط إمداد الهواء هذا أكثر ملاءمة لإمداد الهواء لغرفة نظيفة ذات تدفق غير أحادي الاتجاه في المستوى الأدنى، وأقل اقتصادية ومعقولية لإمداد الهواء لغرفة نظيفة ذات تدفق أحادي الاتجاه فوق المستوى 5.

1. مخطط تزويد وحدة معالجة الهواء بالهواء النقي (نظام التيار المستمر)

يتم استخدام مخطط إمداد الهواء لتنقية الهواء النقي بالكامل في مخططات إمداد الهواء الخاصة للغرف النظيفة حيث لا يُسمح بعودة الهواء. على سبيل المثال، يتم تصنيف عملية إنتاج الغرفة النظيفة على أنها من مستويات خطر الحرائق من الفئة أ والفئة ب أو تنتج العملية مواد شديدة السمية ومواد ضارة أخرى لا يُسمح لها بإرجاع الهواء إلى نظام إمداد الهواء النظيف.

2. مخطط إمداد الهواء لإرجاع الهواء الأساسي لوحدة معالجة الهواء

يتم استخدام مخطط إمداد الهواء لعودة الهواء الأساسي عادة في الغرفة النظيفة ذات القيمة الحرارية الكبيرة أو العائد الرطوبي، وإمداد الهواء بالحرارة المتبقية أو الرطوبة الداخلية أكبر من أو يساوي أو قريب من إمداد الهواء النقي في الغرفة النظيفة ذات التدفق غير أحادي الاتجاه مع درجة نظافة منخفضة.

3. مخطط إمداد الهواء لتكييف الهواء النقي مع وحدة معالجة الهواء (AHU) لإرجاع الهواء الأساسي والثانوي

من أجل توفير الطاقة، والقضاء على حرارة الهواء والحرارة في عملية معالجة الحرارة والرطوبة تعويض بعضها البعض، في غرفة نظيفة تنقية قدرة إمداد الهواء أكبر من قدرة إمداد الهواء من تكييف الهواء للقضاء على الحرارة المتبقية والرطوبة، فمن الأفضل استخدام برنامج العودة الهواء الأول والثاني، تصميم نقطة الخلط الثانية في نقطة إمداد الهواء النظام، وهذا الجانب هو الأكثر توفيرا للطاقة، والأكثر اقتصادا برنامج إمداد الهواء.

4. مخطط إمداد الهواء MAU+RAU لتنقية تكييف الهواء

هذا الحل لمزيد من نظافة الغرفة النظيفة المتعددة، ودرجة الحرارة، والرطوبة، والمتطلبات المختلفة، فإن إنتاج الحرارة الداخلية ومحتوى الرطوبة متشابه أيضًا، من أجل ضمان أن كل من نظافة الغرفة النظيفة، ودرجة الحرارة، والرطوبة ومتطلبات الدقة، لإعداد وحدة دورة متعددة، خرج الهواء الدائري للوحدة هو لتنقية خرج الهواء، وداخل الوحدة، إعداد الحرارة اللازمة، ومعدات المعالجة الرطبة، المستخدمة لتكملة النقص في وحدة الهواء النقي والحرارة، والعملية الرطبة وضمان ضبط درجة حرارة الغرفة النظيفة وقسم الرطوبة بدقة. نظرًا لأن وحدة الدورة الدموية تقع على سقف الغرفة النظيفة، فإن الضغط المتبقي لإمدادات الهواء لوحدة الدورة الدموية صغير نسبيًا، كما أن حجم الوحدة والضوضاء والاهتزاز في الوحدة صغير أيضًا، كما أن قناة عودة الهواء قصيرة نسبيًا. ومع ذلك، فمن الضروري الاهتمام بتصريف المكثفات من وحدة الدورة الدموية. تتواجد وحدات الهواء النقي في هذا المخطط في غرفة التكييف، ويتم تنقية كل الهواء النقي اللازم لهذه الغرف النظيفة بواسطة وحدات الهواء النقي (MAU) والمعالجة المركزية للحرارة والرطوبة. يتم بعد ذلك توزيعه على كل وحدة دورة وخلطه مع الهواء العائد لها. لا ينبغي أن يكمل حجم الهواء النقي لوحدة الهواء النقي هواء العادم لكل غرفة نظيفة فحسب، بل يجب أن يضمن أيضًا الضغط الإيجابي لكل غرفة نظيفة. يُفضّل أن تعتمد معالجة الحرارة والرطوبة في وحدة الهواء النقي على نقطة الندى الميكانيكية للهواء في غرفة نظيفة. إذا كانت نقطة المعالجة الحرارية والرطوبة للهواء النقي أقل من نقطة الندى الميكانيكية للغرفة النظيفة، فلن يتحمل الهواء النقي حمولة الرطوبة منه فحسب، بل سيتخلص أيضًا من حمولة الرطوبة في الغرفة النظيفة. في هذه الحالة، يمكن أن يكون مبرد السطح في وحدة الدوران مبرد سطح جاف.

يُطلق عادةً على مخطط تنقية إمداد الهواء وفصل إمداد الهواء عن تكييف الهواء اسم مخطط إمداد الهواء شبه المركزي أو اللامركزي. لتوفير استهلاك الطاقة بشكل كبير من وقت التشغيل، سيتم القضاء على الحرارة المتبقية النظيفة في الأماكن المغلقة ومخرجات تكييف الهواء الرطب (عادة ما تكون أقل بكثير من غرفة نظيفة لتنقية مخرجات الهواء)، من خلال وحدة هواء غرفة مكيف الهواء (MAU) اللازمة لتنقية ومعالجة الرطب الساخن، ومجموع 50 إلى 90٪ من ضمان نقاء الغرفة النظيفة لتنقية مخرجات الهواء من قبل غرفة نظيفة بالقرب من وحدة الدورة الدموية لتنقية وإضافة المعالجة الساخنة والرطبة، أو استخدام الرأس مباشرة على وحدات فلتر مروحة السقف) والملف الجاف لحل مستوى نظافة الغرفة النظيفة ودرجة حرارة الضبط الدقيق. لا يمكن لهذا المخطط لإمداد الهواء، والذي يتم فصله عن إمداد الهواء عن طريق تكييف الهواء، توفير الطاقة للتشغيل فحسب، بل يقلل أيضًا بشكل كبير من مساحة غرفة تكييف الهواء، ويوفر خط أنابيب إمداد الهواء الضخم والعودة، ويقلل من ارتفاع مساحة الغرفة النظيفة. يمكن تقسيم مخطط إمداد تنقية الهواء هذا إلى: مخطط إضافة وحدة فلتر المروحة (FFU) لوحدة تكييف الهواء (AHU)، مخطط إضافة وحدة دورة الهواء النقي (MAU) (RAU) (FFU)؛ وحدة الهواء النقي (MAU) + وحدة فلتر المروحة (FFU) + أنبوب بارد جاف

(DC) وثلاثة مخططات أخرى لإمدادات الهواء.

1. مخطط إمداد الهواء لوحدات تكييف الهواء AHU(MAU) ووحدات فلتر المروحة (FFU) في هذا المخطط، يتم تحمل جميع الأحمال الحرارية والرطبة لنظام تكييف الهواء (الأحمال الحرارية والرطبة الناتجة في الغرفة النظيفة والأحمال الحرارية والرطبة للهواء النقي) بواسطة وحدات تكييف الهواء الموجودة في غرفة تكييف الهواء. في هذا الوقت، فإن مصدر الهواء لوحدة تكييف الهواء هو مصدر الهواء للقضاء على الحرارة والرطوبة المتبقية في النظام (بما في ذلك كل الهواء النقي وبعض الهواء العائد، ولكن أقل بكثير من مصدر الهواء النقي لضمان نظافة الغرفة النظيفة)، ويجب أن يكون قادرًا على ضمان درجة الحرارة الثابتة والرطوبة النسبية للغرفة النظيفة. يتم ضمان نظافة الغرفة النظيفة من خلال وحدة فلترة المروحة (FFU) الموجودة على سقف الغرفة النظيفة والتي تعمل على تدوير وتصفية إمدادات الهواء النقي. تجدر الإشارة في هذا المخطط إلى أن الحرارة المتولدة أثناء تشغيل FFU يجب أن تتحملها وحدة تكييف الهواء أيضًا. يعد هذا المخطط أكثر ملاءمة لغرف التنظيف ذات التدفق المختلط مع التدفق أحادي الاتجاه الرأسي الجزئي في غرف التنظيف الكبيرة ذات التدفق غير أحادي الاتجاه.

2. وحدة الهواء النقي (MAU) بالإضافة إلى وحدة دورة (he) ووحدة فلتر المروحة (الرأس) لتنقية مخطط إمداد هواء تكييف الهواء، وهذا المخطط لمزيد من نظافة الغرفة النظيفة المتعددة، ودرجة الحرارة، والرطوبة، والمتطلبات المختلفة، فإن إنتاج الحرارة الداخلية ومحتوى الرطوبة متشابه أيضًا، من أجل ضمان أن كل من نظافة الغرفة النظيفة ودرجة الحرارة والرطوبة ومتطلبات الدقة، لإنشاء وحدة دورة متعددة، فإن إخراج الهواء الدائري للوحدة هو تنقية إخراج الهواء، وداخل الوحدة، قم بإعداد الحرارة اللازمة ومعدات المعالجة الرطبة، المستخدمة لتكملة النقص في حرارة وحدة الهواء النقي، والعملية الرطبة وضمان ضبط درجة حرارة الغرفة النظيفة وقسم الدقة. نظرًا لأن وحدة الدورة الدموية تقع على سقف الغرفة النظيفة، فإن الضغط المتبقي لإمدادات الهواء لوحدة الدورة الدموية صغير نسبيًا، كما أن حجم الوحدة والضوضاء والاهتزاز في الوحدة صغير أيضًا، كما أن قناة عودة الهواء قصيرة نسبيًا. ومع ذلك، فمن الضروري الاهتمام بتصريف المكثفات من وحدة الدورة الدموية. تتواجد وحدات الهواء النقي في هذا المخطط في غرفة التكييف، ويتم تنقية كل الهواء النقي اللازم لهذه الغرف النظيفة بواسطة وحدات الهواء النقي (MAU) والمعالجة المركزية للحرارة والرطوبة. يتم بعد ذلك توزيعه على كل وحدة دورة وخلطه مع الهواء العائد لها. لا ينبغي أن يكمل حجم الهواء النقي لوحدة الهواء النقي هواء العادم لكل غرفة نظيفة فحسب، بل يجب أن يضمن أيضًا الضغط الإيجابي لكل غرفة نظيفة. يُفضّل أن تعتمد معالجة الحرارة والرطوبة في وحدة الهواء النقي على نقطة الندى الميكانيكية للهواء في غرفة نظيفة. إذا كانت نقطة المعالجة الحرارية والرطوبة للهواء النقي أقل من نقطة الندى الميكانيكية للغرفة النظيفة، فلن يتحمل الهواء النقي حمولة الرطوبة منه فحسب، بل سيتخلص أيضًا من حمولة الرطوبة في الغرفة النظيفة. في هذه الحالة، يمكن أن يكون مبرد السطح في وحدة الدوران مبرد سطح جاف.

عندما يكون لدى أكثر من واحد في الغرفة النظيفة عدد من المستويات 1 و10 و100 مستوى تنقية عالي لغرفة نظيفة أحادية التدفق الرأسية، من أجل تقليل عبء وحدة الدورة (هو) وإرسال وإرجاع قسم مجرى الهواء، تحل وحدة الدورة فقط إخراج هواء تكييف الهواء أحادي التدفق في الغرفة النظيفة، لضمان درجة حرارة الغرفة النظيفة والرطوبة النسبية والضغط الإيجابي للغرفة النظيفة، وفي الغالب تمثل أكثر من 90٪ من التسليم الموجود في سقف غرفة نظيفة لوحات على الرأس لوضع العبء، لضمان مستوى عال من نظافة الغرفة النظيفة. 3. خطة إمداد هواء تكييف الهواء النقي (MAU) بالإضافة إلى وحدة فلتر المروحة (الرأس) وأنبوب التبريد الجاف (DC) هي أن الهواء النقي سيكون هواءً نقيًا لطاقم غرفة التنظيف الساخنة والرطبة من الخط والرطوبة النسبية أقل من 95٪ تقاطع الخط ، فإن حمولة رطوبة الهواء النقي للطاقم لن تتحمل نفسها فقط ، بل تتحمل أيضًا حمولة رطوبة داخلية نظيفة ، ووحدات الهواء النقي تضمن أن الرطوبة النسبية للغرفة النظيفة تحتاج إلى. سيتم استكمال حمل التبريد الجاف للجزء غير الكافي من المعالجة الحرارية لوحدة الهواء النقي بواسطة مبرد السطح الجاف الموجود على سقف الغرفة النظيفة (أو في النفق). نظرًا لأن مبرد الطاولة الجافة يقع على السقف المعلق أو في النفق الذي يمر من خلاله الهواء المتداول لـ FFU، يتم نقل حمل التبريد الجاف المكون من تبريد الطاولة الجافة إلى الغرفة النظيفة بواسطة الهواء المتداول. يتم إرسال الهواء النقي الذي تتم معالجته بواسطة وحدة الهواء النقي إلى صندوق الضغط الساكن لإمداد الهواء في الغرفة النظيفة عن طريق خطوط الأنابيب التي يمكن خلطها بالتساوي مع الهواء المتداول في وحدة FFU. وحدة تصفية الهواء (FFU) مُثبتة في سقف الغرفة النظيفة. يُرشّح الهواء المتداول الممزوج بالهواء النقي بواسطة وحدة تصفية الهواء (FFU)، ثم يُرسل إلى الغرفة النظيفة بعد ترشيحه بفلتر HEPA لضمان نظافتها. مواصفات FFU هي بشكل أساسي 1200 مم × 600 مم و 1200 مم × 1200 مم، ويجب أن تكون سرعة الرياح في المقطع ≥ 0.45 م / ث، ويجب أن يكون الضغط المتبقي ≥ 120 باسكال، ويجب أن تكون الضوضاء ≤ 50 ديسيبل (أ). يجب أن يكون حجم الهواء في مروحة FFU قابلاً للتعديل، ويجب أن يكون فلتر الكفاءة العالية قابلاً للاستبدال. يتكون الملف البارد الجاف عادةً من صفين. لتقليل المسافة بين زعانف الألومنيوم ذات المقاومة ≥3 مم، يجب أن يتراوح فقدان المقاومة بين 30 و40 باسكال. سرعة الرياح السطحية للرياح الدائرية عبر الملف الجاف أقل من 2 متر/ثانية، ويفضل أن تكون 1.5 متر/ثانية. يجب أن تكون درجة حرارة الماء الداخل إلى الماء البارد للملف الجاف أعلى بمقدار 2 درجة مئوية من درجة حرارة نقطة الندى للغرفة النظيفة، والتي يشار إليها عادةً بالماء المبرد المتوسط. على الرغم من أنه يُطلق عليه اسم ملف جاف، إلا أنه قد يتم توليد مكثفات أثناء التشغيل الأولي، لذا يجب أن يحتوي الملف الجاف أيضًا على صينية تنقيط مكثفات وتدابير تصريف.

في هذا المخطط، يتم ضمان الرطوبة النسبية للغرفة النظيفة بواسطة وحدة الهواء النقي (MAU)، ويتم ضمان درجة حرارة الغرفة النظيفة بواسطة الملف البارد الجاف، ويتم ضمان نظافة الغرفة النظيفة بواسطة FFU. في الوقت الحاضر في بلدنا وصناعة الإلكترونيات الدقيقة الأجنبية (IC)، وصناعة الإلكترونيات البصرية (TFT - LCD، LCD، LED، إلخ) وما إلى ذلك في منطقة كبيرة، أصبحت ورشة العمل النظيفة ذات درجة النظافة العالية متاحة على نطاق واسع، ولديها تعديل مريح، وتوفير الطاقة بشكل كبير، للتكيف مع عملية الترقية، وتوفير مساحة غير إنتاجية كبيرة ومزايا مساحة غير الإنتاج. علاوة على ذلك، مع التطور المستمر للتكنولوجيا والمعدات النظيفة، تتحسن كفاءة مراوح FFU باستمرار، وينخفض استهلاك الطاقة باستمرار، وينخفض السعر الإجمالي باستمرار. الاستثمار الأولي مماثل تقريبًا لأنواع أخرى من أنظمة إمداد الهواء، مع توفير كبير في تكلفة التشغيل.