تستخدم الغرفة النظيفة HEPA و ULPA لتصفية الهواء ، ومعدل تجميع الغبار يصل إلى 99.97 ~ 99.99995٪ ، لذلك يمكن القول إن الهواء الذي تمت تصفيته بواسطة هذا الفلتر نظيف للغاية. ومع ذلك ، بالإضافة إلى الناس ، هناك مصادر للغبار في غرفة نظيفة، مثل ماكينات. بمجرد أن ينتشر الغبار المتولد ، لا يمكن للمساحة النظيفة يجب الحفاظ عليها. لذلك ، يجب استخدام تدفق الهواء لتفريغ الغبار المتولد بسرعة.